高精度MEMSオンチップ専用実装装置 SYOT-005

製品概要

ＭＥＭＳ技術の進展に伴うＣＭＯＳ等へのオンチップ化要望に応える新製品。　
特に、試作、研究開発に最適です。

特徴

◎独自の「陰線画像表示機能」により位置合せ精度±10ミクロン（オプション±1ミクロン）、17インチモニターで見ながら安心して高精度にオンチップ実装が可能です。
◎シンプル構造の超小型真空ピンセット「マイクロハンドラー」により、微細MEMSを優しく確実に±10ミクロン（オプション±1ミクロン）の高精度で扱えます。
◎加圧機構及び各種ヒーター選択により樹脂フィルム、共晶半田等デバイスに応じた多様なダイボンド材料実装への対応が可能です。
◎軽量、卓上型で極めてコンパクト、少しのスペースに設置可能です。
◎標準仕様では必要不可欠な機能に絞り、低価格で提供します。

仕様

型式 SYOT-005
製品名 高精度MEMSオンチップ専用実装装置
顕微鏡用ＣＣＤカメラ 20～200倍ズーム
ＬＥＤ照明 高輝度白色ＬＥＤ
ワークステージ 精度±10ミクロンｘｙステージ
位置決めアーム付き
適用基板（PKG）サイズ ～50ミリ□
超小型真空ピンセット 「マイクロハンドラー」
精度±10ミクロン(オプション±1ミクロン)
ｘｙｚステージ
適用MEMSデバイスサイズ 0.5～20ミリ□
加熱ユニット（トップ） プログラム/
瞬間昇温可能～300℃　　
加圧　0.1Ｎ～20Ｎ
加熱ユニット（ボトム） プログラム/
瞬間昇温可能～300℃
陰線画像表示機能 1000種類の陰線画像登録可能
パソコン 17インチ液晶モニター
本体重量 約8Ｋｇ
本体外形寸法 Ｗ300ｘＤ300ｘＨ450ミリ
窒素チャンバー
納期 受注生産　標準60日
お客様打合せによる
価格 お問い合わせください